5850E Brooks Instrument là gì?

5850E Brooks Instrument là bộ điều khiển lưu lượng khối lượng (Mass Flow Controller – MFC) dùng để đo và điều khiển chính xác lưu lượng khí trong các hệ thống công nghiệp và quy trình sản xuất tự động.

Thiết bị thuộc dòng 5800E của Brooks Instrument, sử dụng nguyên lý đo lưu lượng nhiệt (Thermal Mass Flow). 5850E được thiết kế để cung cấp khả năng đo ổn định, phản hồi nhanh và kiểm soát lưu lượng khí chính xác.

Với thiết kế đã được sử dụng rộng rãi trong nhiều ứng dụng công nghiệp, 5850E phù hợp cho các hệ thống cần kiểm soát lưu lượng khí liên tục và ổn định. Đặc biệt, thiết bị được ứng dụng trong ngành bán dẫn, xử lý khí và các dây chuyền có yêu cầu cao về độ chính xác lưu lượng.

Tổng quan về 5850E Brooks Instrument

5850E kết hợp ba thành phần chính gồm cảm biến lưu lượng, van điều khiển và mạch điều khiển.

Cảm biến đo lưu lượng khí và gửi tín hiệu về mạch điều khiển. Bộ điều khiển sau đó điều chỉnh van để đưa lưu lượng thực tế về giá trị cài đặt.

Cấu trúc này cho phép 5850E vừa đo vừa điều khiển lưu lượng trong cùng một thiết bị. Nhờ đó, hệ thống không cần sử dụng thêm một bộ điều khiển lưu lượng riêng.

Thiết bị sử dụng tín hiệu analog 0–5 VDC, giúp kết nối tương đối đơn giản với PLC, bộ điều khiển quá trình và các hệ thống tự động hóa công nghiệp.

Đặc điểm nổi bật của 5850E

Đo và điều khiển lưu lượng khí

5850E không chỉ đo lưu lượng mà còn chủ động điều chỉnh lưu lượng theo giá trị cài đặt.

Đây là ưu điểm quan trọng khi thiết bị được sử dụng trong các dây chuyền cần duy trì lưu lượng khí ổn định trong suốt quá trình sản xuất.

Công nghệ đo lưu lượng nhiệt

5850E sử dụng công nghệ Thermal Mass Flow để xác định lưu lượng khối lượng của khí.

Phương pháp này cho phép thiết bị đo trực tiếp lưu lượng khối lượng, phù hợp với nhiều ứng dụng cấp và kiểm soát khí trong công nghiệp.

Độ ổn định cao

Dòng 5800E được Brooks Instrument phát triển với trọng tâm là độ ổn định dài hạn.

Theo thông số của nhà sản xuất, độ ổn định điểm zero của dòng 5800E đạt dưới 0,2% toàn thang mỗi năm. Độ lặp lại đạt khoảng 0,25% giá trị lưu lượng.

Phản hồi nhanh

5850E được thiết kế để phản hồi nhanh trước những thay đổi của tín hiệu điều khiển.

Thời gian ổn định được công bố ở mức dưới 3 giây đối với bước lệnh từ 0 đến 100% toàn thang, giúp thiết bị phù hợp với các quy trình cần điều chỉnh lưu lượng nhanh.

Dải lưu lượng rộng

Dòng 5800E cung cấp nhiều dải lưu lượng khác nhau. Model 5850 có dải từ khoảng 0,003 đến 30 slpm, trong khi các model cùng dòng có thể mở rộng đến 100 hoặc 1000 slpm.

Điều này giúp người dùng dễ dàng lựa chọn model phù hợp với yêu cầu lưu lượng của từng dây chuyền.

Thông số kỹ thuật 5850E Brooks Instrument

Thông số thực tế có thể thay đổi tùy cấu hình, loại van, kết nối và điều kiện vận hành của hệ thống.

Ứng dụng của 5850E Brooks Instrument

5850E được sử dụng trong nhiều hệ thống cần đo và điều khiển lưu lượng khí chính xác.

Ngành bán dẫn

5850E được sử dụng rộng rãi trong các hệ thống xử lý khí của ngành bán dẫn, nơi việc kiểm soát lưu lượng khí có ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng và độ ổn định của quy trình.

Hệ thống cấp khí công nghiệp

Thiết bị phù hợp với các hệ thống cấp khí cần duy trì lưu lượng ổn định theo giá trị cài đặt.

Có thể kết nối 5850E với PLC hoặc bộ điều khiển trung tâm để xây dựng hệ thống cấp khí tự động.

Quy trình xử lý khí

5850E có thể được sử dụng trong các quy trình cần kiểm soát chính xác lượng khí đưa vào buồng xử lý, thiết bị phản ứng hoặc các hệ thống công nghệ khác.

Hệ thống tự động hóa

Với tín hiệu điều khiển analog 0–5 VDC, 5850E có thể tích hợp vào nhiều hệ thống điều khiển công nghiệp.

Thiết bị phù hợp với các hệ thống cần đo lưu lượng, điều khiển lưu lượng và giám sát quá trình theo thời gian thực.

Lợi ích khi sử dụng 5850E trong hệ thống tự động hóa

Việc sử dụng 5850E mang lại nhiều lợi ích cho hệ thống điều khiển lưu lượng khí:

Kiểm soát lưu lượng chính xác và ổn định.

Phản hồi nhanh khi giá trị lưu lượng thay đổi.

Giảm sự phụ thuộc vào điều chỉnh thủ công.

Dễ dàng kết nối với hệ thống điều khiển.

Tăng khả năng tự động hóa quy trình.

Giúp duy trì chất lượng sản phẩm ổn định.

Thiết kế có độ ổn định cao, phù hợp cho các hệ thống vận hành liên tục.

Các sản phẩm cùng hãng Brooks Instrument

Brooks Instrument cung cấp danh mục thiết bị đo và điều khiển lưu lượng khá đa dạng, bao gồm Mass Flow Controller, Mass Flow Meter, Coriolis Flow Meter, Variable Area Flow Meter và các thiết bị kiểm soát áp suất.

Một số dòng sản phẩm tiêu biểu cùng hãng gồm:

5800E Series

Dòng Mass Flow Controllers & Meters sử dụng công nghệ Thermal Mass Flow, thiết kế dạng elastomer seal.

Các model tiêu biểu gồm:

5850E: Mass Flow Controller.

5851E: Mass Flow Controller với dải lưu lượng cao hơn.

5853E: Mass Flow Controller cho dải lưu lượng lớn.

5860E: Mass Flow Meter.

5861E: Mass Flow Meter.

5863E: Mass Flow Meter.

Dòng 5800E có dải lưu lượng từ khoảng 0,003 đến 1000 slpm tùy model.

5850EM Series

5850EM là dòng Mass Flow Controller dạng metal sealed của Brooks Instrument.

Sản phẩm có dải đo từ khoảng 3 sccm đến 30.000 sccm, phù hợp với những ứng dụng yêu cầu cấu trúc kín kim loại và khả năng kiểm soát lưu lượng khí ổn định.

5850EMH Series

5850EMH là phiên bản Mass Flow Controller metal sealed dành cho các ứng dụng nhiệt độ cao.

Thiết bị có dải lưu lượng khoảng 0,003–100 slpm và nhiệt độ vận hành có thể lên đến 105°C.

SLA5800 Series

SLA5800 là dòng Mass Flow Controller & Meter sử dụng công nghệ Thermal Mass Flow.

Dòng sản phẩm này cung cấp dải lưu lượng rộng và được sử dụng trong nhiều ứng dụng công nghiệp, xử lý khí và tự động hóa quy trình.

GF Series

Brooks Instrument cung cấp nhiều dòng GF Mass Flow Controller & Meter như GF040, GF080 và GF100.

Các dòng này hướng đến những ứng dụng đo và điều khiển khí với nhiều lựa chọn về dải lưu lượng, vật liệu và giao tiếp.

GF Series cũng có các phiên bản hỗ trợ giao tiếp công nghiệp, phù hợp với yêu cầu kết nối trong hệ thống tự động hóa hiện đại.

Quantim® QMC

Quantim® QMC là dòng Mass Flow Meter & Controller sử dụng công nghệ Coriolis.

Thiết bị có thể sử dụng cho cả khí và chất lỏng, phù hợp với các ứng dụng yêu cầu độ chính xác cao và khả năng đo lưu lượng khối lượng trực tiếp.

5700 Series

5700 là dòng Mass Flow Meter sử dụng công nghệ Thermal Mass Flow, phù hợp cho các ứng dụng đo lưu lượng khí cần thiết bị đo độc lập thay vì điều khiển lưu lượng.

5850E và các thiết bị Brooks Instrument trong hệ thống đo lưu lượng

Tùy theo yêu cầu của dây chuyền, Brooks Instrument có thể cung cấp giải pháp từ đo lưu lượng đến điều khiển lưu lượng và kiểm soát áp suất.

5850E phù hợp khi hệ thống cần vừa đo vừa điều chỉnh lưu lượng khí.

5860E phù hợp khi hệ thống chủ yếu cần đo và giám sát lưu lượng.

Các dòng 5850EM và 5850EMH phù hợp với những ứng dụng yêu cầu cấu trúc metal sealed hoặc điều kiện nhiệt độ cao.

Quantim® QMC phù hợp với các ứng dụng cần đo lưu lượng khối lượng bằng công nghệ Coriolis.

Việc lựa chọn đúng model cần dựa trên loại môi chất, dải lưu lượng, áp suất, nhiệt độ, vật liệu tiếp xúc môi chất và phương thức giao tiếp với hệ thống điều khiển.

Vì sao nên sử dụng 5850E Brooks Instrument?

5850E là giải pháp phù hợp cho các hệ thống cần kiểm soát lưu lượng khí ổn định, chính xác và có khả năng tích hợp vào hệ thống tự động hóa.

Thiết bị kết hợp cảm biến lưu lượng, van điều khiển và bộ điều khiển trong một thiết bị duy nhất. Cùng với khả năng phản hồi nhanh, độ lặp lại cao và độ ổn định lâu dài, 5850E đáp ứng tốt các yêu cầu kiểm soát lưu lượng trong nhiều quy trình công nghiệp.

Đối với các dây chuyền yêu cầu kiểm soát khí chính xác, việc lựa chọn đúng Mass Flow Controller có vai trò quan trọng trong việc duy trì tính ổn định của toàn bộ quy trình.

Brooks Instrument hiện cung cấp nhiều dòng Mass Flow Controller và Mass Flow Meter khác nhau, giúp người dùng lựa chọn giải pháp phù hợp với từng ứng dụng cụ thể.

Thông tin mua hàng

Liên hệ mua hàng
Website: https://iot-master.net/
Hỗ trợ tư vấn: 0379720873
Email: duc@stc-vietnam.com

IOT Master là đơn vị phân phối chính hãng các thiết bị công nghiệp tại Việt Nam, cam kết sản phẩm chính hãng, tài liệu kỹ thuật đầy đủ và hỗ trợ kỹ thuật tận nơi.